PRECISE EVALUATION OF OXYGEN MEASUREMENTS ON CZ-SILICON WAFERS

被引:13
作者
GRAFF, K
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2119956
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:1378 / 1381
页数:4
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共 3 条
  • [1] DETERMINATION OF PARTS PER BILLION OXYGEN IN SILICON THROUGH CALIBRATION OF IR-ABSORPTION AT 77 DEGREES KELVIN
    GRAFF, K
    GRALLATH, E
    ADES, S
    GOLDBACH, G
    TOLG, G
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