MULTIPLE-HEATER TURRET FOR VAPOR DEPOSITION

被引:2
作者
SIMMONS, JG
MOISTER, DE
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1718044
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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引用
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页码:978 / &
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共 2 条
[1]  
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