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INFLUENCE OF STRAGGLING ON ANALYSIS OF ION-IMPLANTATION PROFILES USING BACKSCATTERING OR NUCLEAR-REACTIONS

被引：11
作者：
FRIEDLAND, E
机构：
来源：
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1978年 / 150卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1016/0029-554X(78)90379-8
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
引用
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页码：301 / 304
页数：4
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