EVAPORATED FILM PROFILES OVER STEPS IN SUBSTRATES

被引：74

作者：

BLECH, IA

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1970年 / 6卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(70)90068-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：113 / &

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共 4 条

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