REAL-TIME PARYLENE COATING THICKNESS MEASUREMENT USING OPTICAL REFLECTOMETRY

被引：4

作者：

KIM, H

POWERS, T

MASON, J

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571847

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：900 / 901

页数：2

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