PERFORMANCE OF REFLECTED BEAM SPUTTER SOURCE

被引：18

作者：

BRAND, K ^{[1
]}

机构：

[1] RUHR UNIV BOCHUM,DYNAMITRON TANDEM LAB,D-4630 BOCHUM,FED REP GER

来源：

REVUE DE PHYSIQUE APPLIQUEE | 1977年 / 12卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1051/rphysap:0197700120100145300

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1453 / 1457

页数：5

共 11 条

ALTON, GD .

[2]

BETZ G, 1970, NEDERL TIJEDSCHRIFT, V8, P203

BETZ, HD .

[4] REFLECTED BEAM SPUTTER SOURCE [J].

BRAND, K .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1977, 141 (03) :519-520

[5]

BRAUNELWERT G, 1976, INT C PHYSICS TANDEM

DOUCAS, G ;

HYDER, HRM ;

KNOX, AB .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1975, 124 (01) :11-22

[7]

DOUCAS G, 1975, OXFORD U REPORT

[8]

FOREMAN E, 1967, CAN J PHYS, V46, P754

[9] IMPROVEMENT OF EMITTANCE OF A MIDDLETON TYPE SPUTTER SOURCE [J].

IHMELS, G ;

JAESCHKE, E ;

REPNOW, R .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1976, 138 (03) :407-410

[10]

MIDDLETON R, 1974, NUCL INSTR METH, V118, P229