CALIBRATION OF LOW PRESSURE PENNING DISCHARGE TYPE GAUGES

被引：24

作者：

LANGE, WJ

SINGLETON, JH

ERIKSEN, DP

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1966年 / 3卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492499

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：338 / +

页数：1

共 10 条

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