YIELD IMPLICATIONS AND SCALING LAWS FOR SUBMICROMETER DEVICES

被引:5
作者
FERRISPRABHU, AV
机构
[1] IBM, Essex Junction, VT, USA, IBM, Essex Junction, VT, USA
关键词
D O I
10.1109/66.4374
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
19
引用
收藏
页码:49 / 61
页数:13
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