EVAPORATION OF SILICON BY VACUUM-ARC DISCHARGE

被引：11

作者：

NAOE, M

YAMANAKA, S

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1969年 / 8卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.8.287

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

[No abstract available]

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页码：287 / &

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共 3 条

[1] MAGNETIC PROPERTIES OF FERRITE FILMS DEPOSITED BY VACUUM-ARC DISCHARGE [J].

NAOE, M ;

YAMANAKA, S .

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1967, 6 (08) :1029-&

[2] STRUCTURE OF FERRITE FILMS DEPOSITED BY VACUUM-ARC DISCHARGE [J].

NAOE, M ;

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YAMANAKA, S .

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1967, 6 (06) :783-&

[3] VACUUM DEPOSITION OF FERRITE FILMS BY ARC DISCHARGE [J].

YAMANAKA, S ;

NAOE, M .

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