CORRECTION OF OPENING DEFECT OF ELECTRON LENS

被引:15
作者
MARUSE, S
HIRATAKE, S
ICHIHASHI, M
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.9.1549
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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共 2 条
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