SELF-ALIGN IMPLANTATION FOR N+-LAYER TECHNOLOGY (SAINT) FOR HIGH-SPEED GAAS ICS

被引：69

作者：

YAMASAKI, K

ASAI, K

MIZUTANI, T

KURUMADA, K

机构：

来源：

ELECTRONICS LETTERS | 1982年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1049/el:19820080

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页码：119 / 121

页数：3

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共 4 条

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