ELLIPSOMETRIC INVESTIGATION OF AG-DOPING PROFILES IN AMORPHOUS-CHALCOGENIDE THIN-FILMS

被引：9

作者：

HONIG, V

FEDOROV, V

LIEBMANN, G

SUPTITZ, P

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1986年 / 96卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210960230

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：611 / 619

页数：9

共 23 条

ASPNES, DE ;

PHILLIPS, JC ;

TAI, KL ;

BRIDENBAUGH, PM .

PHYSICAL REVIEW B, 1981, 23 (02) :816-822

[2]

Azzam RMA, 1977, ELLIPSOMETRY POLARIZ

[3]

Born M., 1965, PRINCIPLES OPTICS, P615

[4]

DOANE DA, 1982, P S INORGANIC RESIST, V82, P9

[5]

FELTZ A, 1983, AMORPHE GLASARTIGE A

[6]

FUNKE K, 1975, FESTE IONENLEITER TY

[7]

Hansen M., 1958, J ELECTROCHEM SOC, DOI DOI 10.1149/1.2428700

[8]

Honig V., 1986, Experimentelle Technik der Physik, V34, P307

[9]

HONIG V, UNPUB

[10] PHOTO-LITHOGRAPHIC PROCESSES IN AMORPHOUS-SEMICONDUCTORS [J].

JANAI, M .

JOURNAL DE PHYSIQUE, 1981, 42 (NC4) :1105-1114