THE MEASUREMENT OF ALPHA-PARTICLE EMISSIONS FROM SEMICONDUCTOR MEMORY MATERIALS

被引：13

作者：

BOULDIN, DP

机构：

来源：

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS | 1981年 / 10卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1007/BF02660131

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页码：747 / 795

页数：49

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共 24 条

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