HIGH RATE ION PRODUCTION FOR VACUUM DEPOSITION

被引：25

作者：

MORLEY, JR

SMITH, HR

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1317043

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1377 / &

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共 4 条

[1] COBINE JD, 1958, GASEOUS CONDUCTORS, P79
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[3] MORLEY JR, 1963, 1963 T VAC MET C BOS, P186
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