SELECTION AND EVALUATION OF AN ULTRAHIGH-VACUUM GATE VALVE FOR ISABELLE BEAM LINE VACUUM-SYSTEM

被引：2

作者：

FOERSTER, CL

MCCAFFERTY, D

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570972

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：997 / 1000

页数：4

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共 4 条

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