PREPARATION AND PROPERTIES OF UNSUPPORTED POSITIVE COEFFICIENT THIN THERMISTOR FILMS

被引:6
作者
MENDELSOHN, LI
ORTH, ED
CURRAN, RE
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.1492694
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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