SEQUENCE OF PHASE FORMATION IN PLANAR METAL-SI REACTION COUPLES

被引：78

作者：

TSAUR, BY ^{[1
]}

LAU, SS ^{[1
]}

MAYER, JW ^{[1
]}

NICOLET, MA ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH,PASADENA,CA 91125

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.92183

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：922 / 924

页数：3

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共 15 条

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