PREPARATION OF SI3N4 BY VAPOR-PHASE REACTION

被引：9

作者：

KIJIMA, K ^{[1
]}

SETAKA, N ^{[1
]}

ISHII, M ^{[1
]}

TANAKA, H ^{[1
]}

机构：

[1] NATL INST RES INORG MAT,SAKURA,IBARAKI,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1111/j.1151-2916.1973.tb12516.x

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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