PROPERTIES OF TIN THIN-FILMS ON SEVERAL SUBSTRATE PLATES WITH A HIGH-CURRENT ION MIXING MACHINE

被引：5

作者：

TAKANO, I

ISOBE, S

TAKEMOTO, M

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574952

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：3