INDUCED CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS SILICON-OXIDE

被引:2
作者
NEMETHSALLAY, M [1 ]
BARNA, A [1 ]
LORINCZY, A [1 ]
SZEP, IC [1 ]
机构
[1] HUNGARIAN ACAD SCI,TECH PHYS RES INST,H-1325 BUDAPEST,HUNGARY
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1977年 / 43卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210430249
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:K135 / &
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共 3 条
[1]   STABILIZATION OF SILICON SURFACES BY THERMALLY GROWN OXIDES [J].
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