DEGRADATION OF ITO FILM IN GLOW-DISCHARGE PLASMA

被引：33

作者：

KUBOI, O

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1981年 / 20卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.20.L783

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：L783 / L786

页数：4

相关论文

共 4 条

[1] NEW TYPE OF AMORPHOUS SILICON PHOTO-VOLTAIC CELL GENERATING MORE THAN 2.0-V [J].

HAMAKAWA, Y ;

OKAMOTO, H ;

NITTA, Y .

APPLIED PHYSICS LETTERS, 1979, 35 (02) :187-189

[2]

Katsube Y., 1980, Oyo Buturi, V49, P2

[3]

KATSUBE Y, 1978, KOGAKU, V7, P250

[4]

WYETH NC, 1977, SOLID STATE ELECTRON, V20, P629