VACUUM DEPOSITION OF THIN FILMS BY MEANS OF A CO2 LASER

被引：32

作者：

GROH, G

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1968年 / 39卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1656056

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：5804 / &

相关论文

共 3 条

[1] NICHOLS KG, 1965, BR COMMUN ELECTRON, V12, P368
[2] VACUUM DEPOSITED THIN FILMS USING A RUBY LASER
SMITH, HM
TURNER, AF
[J]. APPLIED OPTICS, 1965, 4 (01): : 147 - &
[3] WITTEMAN WJ, 1966, PHILIPS RES REP, V21, P73