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MICROMACHINING WITH VIRTUAL ELECTRODES
被引:15
作者:
UHLIR, A
机构:
关键词:
D O I:
10.1063/1.1715166
中图分类号:
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号:
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要:
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页数:4
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