GAS-ANALYSIS IN AN RF SPUTTERING PLANT

被引：4

作者：

COX, REL ^{[1
]}

HOLLAND, L ^{[1
]}

机构：

[1] EDWARDS HIGH VACUUM INT,CENT RES LAB,CRAWLEY,SUSSEX,ENGLAND

来源：

NATURE-PHYSICAL SCIENCE | 1973年 / 241卷 / 112期

关键词：

D O I：

10.1038/physci241149a0

中图分类号：

Q6 [生物物理学];

学科分类号：

071011 ;

摘要：

引用

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页码：149 / 150

页数：2

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共 4 条

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