DESIGN AND PERFORMANCE OF A HOT CATHODE MAGNETICALLY COLLIMATED ARC DISCHARGE ION SOURCE

被引：7

作者：

ABELE, M

MECKBACH, W

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1716617

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：335 / 338

页数：4

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共 6 条

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