STRUCTURE-PROPERTY-PROCESS RELATIONSHIPS IN CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION CVD

被引：86

作者：

BLOCHER, JM ^{[1
]}

机构：

[1] BATTELLE MEM INST,COLUMBUS,OH 43201

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1312735

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：680 / 686

页数：7

共 45 条

[1]

BACON GE, 1956, J APPL CHEM-USSR, V6, P477

[2]

BATZIES P, 1972, 3 P INT C CHEM VAP D, P658

[3]

BENZING W, PRIVATE COMMUNICATIO

[4] PROPERTIES OF CERAMIC-COATED NUCLEAR-FUEL PARTICLES [J].

BLOCHER, JM ;

LANDRIGAN, RB ;

OXLEY, JH ;

BROWNING, MF ;

SECREST, VM ;

SECREST, AC ;

WILSON, WJ .

[5]

BLOCHER JM, 1971, 2 P INT C CHEM VAP D

[6]

BLOEM J, 1973, 2 P INT S SIL MAT SC, P180

[7]

Bokros J., 1966, CARBON, V3, P503

[8]

BOKROS JC, 1965, CARBON, V3, P201

[9]

BOKROS JC, 1971, 4 P BUHL INT C MAT, P234

[10] THE DEPOSITION OF PYROLYTIC GRAPHITE [J].

DIEFENDORF, RJ .