DEVELOPMENT OF AN IONIZED CLUSTER BEAM SYSTEM FOR LARGE-AREA DEPOSITION

被引：3

作者：

INA, T ^{[1
]}

MINOWA, Y ^{[1
]}

KOSHIRAKAWA, N ^{[1
]}

YAMANISHI, K ^{[1
]}

机构：

[1] MITSUBISHI ELECT CORP,PROD DEV LAB,AMAGASAKI,HYOGO 661,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(89)90297-8

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：4