A POLISHING ETCHANT FOR III-V SEMICONDUCTORS

被引：55

作者：

FULLER, CS

ALLISON, HW

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1962年 / 109卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2425576

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

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共 2 条

[1] SULLIVAN M, UNPUB
[2] 1959, PROPERTIES ELEMENTAL