STRUCTURE AND PROPERTIES OF SPUTTERED TITANIUM CARBIDE AND TITANIUM NITRIDE COATINGS

被引：27

作者：

MAH, G ^{[1
]}

NORDIN, CW ^{[1
]}

FULLER, JF ^{[1
]}

机构：

[1] DOW CHEM CO,ROCKY FLATS DIV,POB 888,GOLDEN,CO 80401

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318623

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：371 / 373

页数：3