A KINETIC PHASE-DIAGRAM FOR ULTRATHIN FILM NI/SI(111) - AUGER LINESHAPE RESULTS

被引:7
作者
BENNETT, PA
BUTLER, JR
TONG, X
机构
来源
CHEMISTRY AND DEFECTS IN SEMICONDUCTOR HETEROSTRUCTURES | 1989年 / 148卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-148-61
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:61 / 69
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