STRUCTURE AND MICROHARDNESS RELATIONSHIPS IN TI, ZR AND HF-3ZR CARBIDE DEPOSITS SYNTHESIZED BY ACTIVATED REACTIVE EVAPORATION

被引：17

作者：

RAGHURAM, AC ^{[1
]}

NIMMAGADDA, R ^{[1
]}

BUNSHAH, RF ^{[1
]}

WAGNER, CNJ ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF, MAT DEPT, LOS ANGELES, CA 90024 USA

来源：

THIN SOLID FILMS | 1974年 / 20卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(74)90045-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

收藏

页码：187 / 199

页数：13

相关论文

empty

未找到相关数据