PRESSURE GAUGE FOR CORROSIVE GASES IN THE MICRON AND SUBMICRON REGION

被引：12

作者：

ANDERSON, JR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1716080

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1073 / 1078

页数：6

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共 7 条

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