ROLE OF SURFACE HYDROXYLS IN NUCLEATION OF SPUTTERED TANTALUM FILMS

被引：7

作者：

FEINSTEIN, LG

HUTTEMANN, RD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(72)90118-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：S47 / +

页数：1

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共 5 条

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