LOW-TEMPERATURE POLYSILICON TFTS - A COMPARISON OF SOLID-PHASE AND LASER CRYSTALLIZATION

被引：37

作者：

PLAIS, F

LEGAGNEUX, P

REITA, C

HUET, O

PETINOT, F

GODARD, B

STEHLE, M

FOGARASSY, E

机构：

[1] THOMSON CSF-LCR, Domaine de Corbeville

[2] SOPRA S.A., 92270 Bois Colombes

[3] Lab. PHASE, 67037 Strasbourg Cedex, BP20

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(95)00093-N

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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