ETCHING OF GERMANIUM CRYSTALS BY ION BOMBARDMENT

被引：20

作者：

WEHNER, GK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1723070

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：217 / 221

页数：5

共 18 条

[1]

ALLEN JW, 1956, J ELECTRONICS, V1, P439

Baum, T .

ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK, 1927, 40 (09) :686-707

[3]

BREIDT, 1957, ACTA MET, V5, P60

DILLON, JA ;

FARNSWORTH, HE .

[5] DISLOCATIONS IN GERMANIUM [J].

ELLIS, SG .

[6]

Feitknecht W., 1924, HELV CHIM ACTA, V7, P825

[7]

HONIG RE, 1957, B AM PHYS SOC 2, V2, P34

[8] CATHODIC VACUUM ETCHING OF METALS [J].

MCCUTCHEON, DM .

[9]

NEWKIRK JB, T AM SOC METALS

[10]

PADDEN TR, 1954, MET PROG, V66, P108