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ION-BEAM TECHNOLOGY APPLIED TO THIN-FILM DEPOSITION

被引：2
作者：
FRANKS, J
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1981年 / 86卷 / 2-3期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(81)90291-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：219 / 225
页数：7
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