PROPER USE OF ELECTROSTATIC PROBES IN ELECTRODELESS RF PLASMAS

被引：5

作者：

CANTIN, A

GAGNE, RRJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TAP.1968.1139158

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：279 / &

共 5 条

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