THE EFFECT OF ION-IMPLANTATION ON POLYMER MASK RESISTANCE TO ION-BEAM ETCHING

被引：6

作者：

BORZENKO, TB

VYATKIN, AF

GONCHAKOVA, NN

ZINENKO, VI

KOVAL, YI

KUDRYASHOV, VA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(88)90564-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1007 / 1009

页数：3

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共 6 条

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