HYDROGEN EVOLUTION FROM AMORPHOUS SI-N FILMS

被引:32
作者
MORIMOTO, A
KOBAYASHI, I
KUMEDA, M
SHIMIZU, T
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1986年 / 25卷 / 09期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.25.L752
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L752 / L754
页数:3
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