ELECTRICAL AND STRUCTURE SENSITIVE MEASUREMENTS ON ION IMPLANTED GAAS

被引:16
作者
BICKNELL, R
BELL, EC
HEMMENT, PLF
TANSEY, JE
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1972年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210120139
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:K9 / &
相关论文
共 5 条
  • [1] EISEN FH, 1971, 2 P INT C ION IMPL G, P287
  • [2] HEMMENT PLF, 1971, ATOM COLLISION SOLID
  • [3] Mayer J. W., 1970, ION IMPLANTATION SEM
  • [4] Mazey D. J., 1969, Radiation Effects, V1, P229, DOI 10.1080/00337576908235565
  • [5] Whitton J. L., 1971, Radiation Effects, V9, P127, DOI 10.1080/00337577108242044