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STRESS-RELAXATION IN THIN ALUMINUM FILMS

被引：47
作者：
KOLESHKO, VM
BELITSKY, VF
KIRYUSHIN, IV
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1986年 / 142卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(86)90005-2
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：199 / 212
页数：14
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