LARGE DIFFRACTION GRATINGS RULED ON A COMMERCIAL MEASURING MACHINE CONTROLLED INTERFEROMETRICALLY

被引:27
作者
HARRISON, GR
THOMPSON, SW
机构
关键词
D O I
10.1364/JOSA.60.000591
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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页码:591 / &
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