CHARACTERISTICS OF A BAKEABLE ION-CRYOPUMPED UHV SYSTEM

被引：35

作者：

MICHAUD, M

SANCHE, L

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1980年 / 17卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570410

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：274 / 276

页数：3

共 6 条

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