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MICROFABRICATION USING A COMPUTER-CONTROLLED SCANNING-TRANSMISSION
被引:5
作者
:
KIM, JJ
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0
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0
机构:
UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
KIM, JJ
[
1
]
SAMPSON, HG
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UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
SAMPSON, HG
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EVERHART, TE
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UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
EVERHART, TE
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1
]
机构
:
[1]
UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
来源
:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1973年
/ 10卷
/ 06期
关键词
:
D O I
:
10.1116/1.1318453
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:1005 / 1007
页数:3
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