MICROFABRICATION USING A COMPUTER-CONTROLLED SCANNING-TRANSMISSION

被引:5
作者
KIM, JJ [1 ]
SAMPSON, HG [1 ]
EVERHART, TE [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.1318453
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1005 / 1007
页数:3
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