MICROFABRICATION USING A COMPUTER-CONTROLLED SCANNING-TRANSMISSION

被引：5

作者：

KIM, JJ ^{[1
]}

SAMPSON, HG ^{[1
]}

EVERHART, TE ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318453

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1005 / 1007

页数：3