VERY PURE THIN FILM TANTALUM PHASE

被引：18

作者：

SCHAUER, A

PETERS, W

JUERGENS, W

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(71)90112-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：R9 / &

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共 5 条

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