ERRORS IN SURFACE TOPOGRAPHY MEASUREMENTS WITH HIGH APERTURE INTERFERENCE MICROSCOPES

被引：19

作者：

MYKURA, H

RHEAD, GE

机构：

来源：

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1963年 / 40卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1088/0950-7671/40/6/312

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：313 / &

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共 4 条

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