UNIVERSAL MOTION DEVICE FOR USE IN ULTRAHIGH VACUUM

被引：1

作者：

CALDWELL, CW

LIEBLER, CF

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1968年 / 5卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492589

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：90 / &

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