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THIN-FILM DEPOSITION FROM BEAMS OF IONIZED ATOMS AND CLUSTERS
被引：4
作者：
KUIPER, AET
THOMAS, GE
SCHOUTEN, WJ
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0022-0248(78)90458-X
中图分类号：
O7 [晶体学];
学科分类号：
0702 ;
070205 ;
0703 ;
080501 ;
摘要：
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页数：2
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