ELECTRICAL AND STRUCTURAL PROPERTIES OF CO-SPUTTERED TANTALUM-ALUMINUM FILMS

被引:25
作者
STEIDEL, CA
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1315732
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:694 / &
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