INTERFEROMETRIC ELLIPSOMETRY

被引：56

作者：

HAZEBROEK, HF ^{[1
]}

HOLSCHER, AA ^{[1
]}

机构：

[1] KONINKLIJKE SHELL LAB, AMSTERDAM, NETHERLANDS

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1973年 / 6卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/6/9/013

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：822 / 826

页数：5

共 8 条

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